MQV氣體質量控制器
MQV數字式質量流量控制器采用MEMS流量傳感器的超微小感熱式流速傳感器,并通過PID控制技術驅動比例執(zhí)行器的高性能氣體質量流量控制器。實現了高速控制、低差壓動作、寬范圍的流量控制等性能,完全滿足需求。
產品詳情
?傳感器構造和特點
?傳感器性能優(yōu)勢
?應用案例
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